Dreidimensionale Strukturierung von Dünnschichtsystemen für sensorische Anwendungen (3DStruktur) : Abschlussbericht zu dem vom VDI/VDE-IT betreuten Projekt

Dreidimensionale Strukturierung von Dünnschichtsystemen für sensorische Anwendungen (3DStruktur) Abschlussbericht zu dem vom VDI/VDE-IT betreuten Projekt

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Biehl, Saskia Nina (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Wolf, Lisa (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Braunschweig IST ca. 2011
Schlagworte:
Forschungsbericht
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 16SV5035. - Auch als elektronische Ressource vorhanden. - Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Beschreibung:44 S.
Ill., graph. Darst.