ULSI process integration 7 [Seventh Symposium on ULSI Process Integration held in Boston, MA at the 220th meeting of the Electrochemical Society, October 9 - 14, 2011]

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Electrochemical Society Electronics and Photonics Division (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Claeys, C. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Pennington, NJ ECS 2011
Schriftenreihe:ECS transactions Dielectric and semiconductor materials, devices, and processing 41,7
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Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:Literaturangaben
Beschreibung:IX, 417 S.
Ill., graph. Darst.
ISBN:9781566779074
978-1-56677-907-4