Gettering and defect engineering in semiconductor technology XIV ; selected papers from the XIVth International Biannual Meeting on Gettering and Defect Engineering in Semiconductor, (GADEST2011), September 25 - 30, 2011, Loipersdorf (Fürstenfeld), Austria

Bibliographische Detailangaben

Weitere Verfasser:	Jantsch, Wolfgang (BerichterstatterIn), Schäffler, Friedrich (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Durnten-Zurich u.a. TTP, Trans Tech Publ. 2011
Schriftenreihe:	Diffusion and defect data / B 178/179
Schlagworte:	Konferenzschrift > Gitterbaufehler
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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