Polycrystalline Si thin films and devices I. Seed selection through ion channeling II. Thin-film transistors

Cambridge, Massachusetts Inst. of Techn., Thesis, 1988

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Kung, Kenneth Ting-Yuan (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: 1988
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Beschreibung
Zusammenfassung:Cambridge, Massachusetts Inst. of Techn., Thesis, 1988
Beschreibung:116 S.
Ill., graph. Darst.