Polycrystalline Si thin films and devices I. Seed selection through ion channeling II. Thin-film transistors
Cambridge, Massachusetts Inst. of Techn., Thesis, 1988
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
1988
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Zusammenfassung: | Cambridge, Massachusetts Inst. of Techn., Thesis, 1988 |
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Beschreibung: | 116 S. Ill., graph. Darst. |