System-level modeling of MEMS

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser:	Bechtold, Tamara (HerausgeberIn), Schrag, Gabriele (BerichterstatterIn), Feng, Lihong (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Weinheim Wiley-VCH-Verl. c 2013
Schriftenreihe:	Advanced micro & nanosystems 10
Schlagworte:	Microelectromechanical systems > Mathematical models > Aufsatzsammlung > MEMS > Computersimulation > Ordnungsreduktion
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis Inhaltstext Cover
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