Mit 3D-Integration zu neuen multifunktionalen Mikrosystemen und -produkten Workshop am 23. Oktober 2011 in Dresden ; Tagungsband

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Europäische Forschungsgesellschaft Dünne Schichten (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Dresden EFDS 2011
Schlagworte:
Konferenzschrift > Forschungsbericht
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:Enth. nur Präsentationsfolien, keine ausgearb. Vorträge
Beschreibung:Getr. Zählung
zahlr. Ill. u. graph. Darst.