Verbundprojekt: Plasmatechnologien für die Hochtemperatur-Drucksensorik (IsoBarrier), Teilvorhaben: Grundlegende Untersuchung eines PVD-PECVD-Hybridprozesses zur Abscheidung hochtemperaturstabiler Isolationsschichten Schlussbericht des Fraunhofer FEP im Verbund IsoBarrier ; Berichtszeitraum: 1.5.2007 - 31.3.2011

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Bartzsch, Hagen (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Dresden Fraunhofer-Inst. für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik 2011
Schlagworte:	Forschungsbericht
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!