Verbundprojekt: Plasmatechnologien für die Hochtemperatur-Drucksensorik (IsoBarrier), Teilvorhaben: Grundlegende Untersuchung eines PVD-PECVD-Hybridprozesses zur Abscheidung hochtemperaturstabiler Isolationsschichten : Schlussbericht des Fraunhofer FEP im Verbund IsoBarrier ; Berichtszeitraum: 1.5.2007 - 31.3.2011

Verbundprojekt: Plasmatechnologien für die Hochtemperatur-Drucksensorik (IsoBarrier), Teilvorhaben: Grundlegende Untersuchung eines PVD-PECVD-Hybridprozesses zur Abscheidung hochtemperaturstabiler Isolationsschichten Schlussbericht des Fraunhofer FEP im Verbund IsoBarrier ; Berichtszeitraum: 1.5.2007 - 31.3.2011

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Bartzsch, Hagen (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Dresden Fraunhofer-Inst. für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik 2011
Schlagworte:
Forschungsbericht
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 13N9285. - Verbund-Nr. 01057051
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden. - Auch als elektronische Ressource vorh
Beschreibung:12 Bl.
Ill., graph. Darst.