Special issue on diverse applications of surface metrology II [... 2nd International Conference on Surface Metrology (ISCM) ... October 25 - 27, 2010 ... in Worchester, Massachusetts]
Gespeichert in:
| Weitere Verfasser: | |
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| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | eng |
| Veröffentlicht: |
Knoxville, Tenn.
Wiley
2011
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| Schriftenreihe: | Scanning
33.2011,5 |
| Schlagworte: | |
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | S. 271 - 395 Ill., graph. Darst |
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