Verbundprojekt: Optische Lithografie für sub-44nm Speicher- und Logik-Technologien (ANTARES), Teilvorhaben: Untersuchung von neuen Resists und Materialien für zukünftige Technologieplattformen Abschluss-Bericht der ausführenden Stelle: Institut für Mikroelektronik Stuttgart ; BMBF-Verbundprojekt ANTARES ; Abschlussbericht IMS ; Laufzeit: 1.10.2008 - 31.12.2010
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| Sprache: | ger |
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Stuttgart
IMS
2011
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