Verbundprojekt: Optische Lithografie für sub-44nm Speicher- und Logik-Technologien (ANTARES), Teilvorhaben: Untersuchung von neuen Resists und Materialien für zukünftige Technologieplattformen : Abschluss-Bericht der ausführenden Stelle: Institut für Mikroelektronik Stuttgart ; BMBF-Verbundprojekt ANTARES ; Abschlussbericht IMS ; Laufzeit: 1.10.2008 - 31.12.2010

Verbundprojekt: Optische Lithografie für sub-44nm Speicher- und Logik-Technologien (ANTARES), Teilvorhaben: Untersuchung von neuen Resists und Materialien für zukünftige Technologieplattformen Abschluss-Bericht der ausführenden Stelle: Institut für Mikroelektronik Stuttgart ; BMBF-Verbundprojekt ANTARES ; Abschlussbericht IMS ; Laufzeit: 1.10.2008 - 31.12.2010

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Sailer, Holger (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Irmscher, Mathias (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Stuttgart IMS 2011
Schlagworte:
Forschungsbericht
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 13N9674. - Verbund-Nr. 01062231
Auch als elektronische Ressource vorh
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden. - Auch als elektronische Ressource vorhanden
Beschreibung:21 Bl.
Ill., graph. Darst.