Potential of the FLASH FEL technology for the construction of a kW-scale light source for the next generation lithography

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Schneidmiller, E. A. (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Hamburg DESY 2011
Schriftenreihe:DESY 11,138
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