Potential of the FLASH FEL technology for the construction of a kW-scale light source for the next generation lithography

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Schneidmiller, E. A. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Hamburg DESY 2011
Schriftenreihe:	DESY 11,138
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Beschreibung
Beschreibung:	18 S. graph. Darst. 30 cm