Alternative lithographic technologies III : 1 - 3 March 2011, San Jose, California, United States ; [Alternative Lithographic Technologies III Conference is part of SPIE advanced lithography]

Alternative lithographic technologies III 1 - 3 March 2011, San Jose, California, United States ; [Alternative Lithographic Technologies III Conference is part of SPIE advanced lithography]

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Herr, Daniel J. C. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Bellingham, Wash. SPIE 2011
Schriftenreihe:Proceedings of SPIE 7970
Schlagworte:
Extreme ultraviolet lithography > Lithography, Electron beam > Microlithography > Industrial applications > Masks (Electronics) > Konferenzschrift > Lithografie
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:Getr. Zählung [ca. 420 S.]
Ill., graph. Darst.
ISBN:9780819485298
978-0-8194-8529-8