Monocrystal sputtering by the computer simulation code ACOCT

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Yamamura, Yasunori (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Takeuchi, Wataru (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Nagoya Inst. of Plasma Physics, Nagoya Univ. 1987
Schriftenreihe:	Research report / Institute of Plasma Physics, Nagoya University 848
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