Modeling aspects in optical metrology III : 23 - 24 May 2011, Munich, Germany ; [part of the SPIE Optical Metrology Symposium]

Modeling aspects in optical metrology III 23 - 24 May 2011, Munich, Germany ; [part of the SPIE Optical Metrology Symposium]

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: SPIE (BerichterstatterIn), International Symposium on Optical Metrology (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Bodermann, Bernd (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Bellingham, Wash. SPIE 2011
Schriftenreihe:Proceedings of SPIE 8083
Schlagworte:
Optical measurements > Integrated circuits > Semiconductors > Design and construction > Konferenzschrift > Optische Messtechnik > Metrologie > Modellierung
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:Getr. Zählung [ca. 440 S.]
Ill., graph. Darst.
ISBN:9780819486790
978-0-8194-8679-0