Selected papers from the proceedings of the Tenth International Symposium on Sputtering and Plasma Processes (ISSP 2009), 8 - 10 July 2009, Kanazawa, Japan

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	Executive Committee of the International Symposium on Sputtering and Plasma Processes (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Gotoh, Y. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	St. Louis, Mo. u.a. Elsevier 2009
Schriftenreihe:	Vacuum Special issue 84.2009,12
Schlagworte:	Konferenzschrift
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