Laser applications in microelectronic and optoelectronic manufacturing (LAMOM) XVI 24 - 27 January 2011, San Francisco, California, United States ; [part of SPIE photonics west]
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
Bellingham, Wash.
SPIE
2011
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Schriftenreihe: | Proceedings of SPIE
7920 |
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Online Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
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Beschreibung: | Literaturangaben |
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Beschreibung: | Getr. Zählung [ca. 260 S.] Ill., graph. Darst. |
ISBN: | 9780819484574 978-0-8194-8457-4 |