Laser applications in microelectronic and optoelectronic manufacturing (LAMOM) XVI 24 - 27 January 2011, San Francisco, California, United States ; [part of SPIE photonics west]

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Weitere Verfasser: Gu, Bo (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Bellingham, Wash. SPIE 2011
Schriftenreihe:Proceedings of SPIE 7920
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Beschreibung
Beschreibung:Literaturangaben
Beschreibung:Getr. Zählung [ca. 260 S.]
Ill., graph. Darst.
ISBN:9780819484574
978-0-8194-8457-4