Special section on reliability, packaging, testing, and characterization of MEMS and MOEMS II [some of the papers in this special section were originally presented at the Reliability, Packaging, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS and Nanodevices Conference ... held in San Jose, California, in 2010]
Gespeichert in:
| Weitere Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | eng |
| Veröffentlicht: |
Bellingham, Wash.
SPIE
2010
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| Schriftenreihe: | Journal of micro/nanolitography, MEMS, and MOEMS
9.2010,4 |
| Schlagworte: | |
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|---|---|
| Beschreibung: | Getr. Zählung Ill., graph. Darst. |