SEMATECH Workshop on 3D Interconnect Metrology 2009 : San Francisco, California, USA, 15 July 2009

SEMATECH Workshop on 3D Interconnect Metrology 2009 San Francisco, California, USA, 15 July 2009

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: SEMATECH (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Red Hook, NY Curran 2010
Schlagworte:
Konferenzschrift
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:Enth. nur Präsentationsfolien, keine ausgearb. Vorträge
Beschreibung:232 S.
Ill., graph. Darst.
ISBN:9781617820977
978-1-61782-097-7