Metall-Gate-Elektroden und epitaktische Oxide als Gate-Stacks für zukünftige CMOS-Logik- und Speichergenerationen - MEGAEPOS Schlussbericht zum Projekt ; Laufzeit: 01.03.2007 - 31.05.2010
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| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Dresden
2010
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | Förderkennzeichen BMBF 13N9263. - Verbund-Nr. 01056351 Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden Auch als elektronische Ressource vorh |
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| Beschreibung: | 16 Bl. Ill., graph. Darst. |