Atomic layer deposition applications 6 [the Sixth Symposium on Atomic Layer Deposition was held October 10 to October 15, 2010 in Las Vegas, Nevada, as part of the 218th meeting of the Electrochemical Society]

Bibliographische Detailangaben

Körperschaften:	Electrochemical Society Dielectric Science and Technology Division (BerichterstatterIn), Electrochemical Society Electronics and Photonics Division (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Elam, Jeffrey W. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Pennington, NJ Electrochemical Soc. 2010
Schriftenreihe:	ECS transactions Dielectric and semiconductor materials, devices, and processing 33,2
Schlagworte:	Konferenzschrift
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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