Atomic layer deposition applications 6 : [the Sixth Symposium on Atomic Layer Deposition was held October 10 to October 15, 2010 in Las Vegas, Nevada, as part of the 218th meeting of the Electrochemical Society]

Atomic layer deposition applications 6 [the Sixth Symposium on Atomic Layer Deposition was held October 10 to October 15, 2010 in Las Vegas, Nevada, as part of the 218th meeting of the Electrochemical Society]

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: Electrochemical Society Dielectric Science and Technology Division (BerichterstatterIn), Electrochemical Society Electronics and Photonics Division (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Elam, Jeffrey W. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Pennington, NJ Electrochemical Soc. 2010
Schriftenreihe:ECS transactions Dielectric and semiconductor materials, devices, and processing 33,2
Schlagworte:
Konferenzschrift
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:IX, 455 S.
Ill., graph. Darst.
ISBN:9781566778213
978-1-56677-821-3