Schlussbericht zum Teilprojekt "Grundlagenuntersuchungen der MBE-Prozesse: MBE-Wachstum, Struktur und thermische Stabilität von Verbindungen und Heterostrukturen Seltener-Erd-Oxide auf Si" innerhalb des BMBF Verbundprojektes "Metall Gate Elektroden und epitaktische Oxide als Gate-Stacks für zukünftige CMOS-Logik- und Speichergenerationen" - MEGA EPOS Laufzeit: 01.03.2007 - 28.02.2010
Gespeichert in:
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| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Berlin
2010
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