Schlussbericht zum Teilprojekt "Grundlagenuntersuchungen der MBE-Prozesse: MBE-Wachstum, Struktur und thermische Stabilität von Verbindungen und Heterostrukturen Seltener-Erd-Oxide auf Si" innerhalb des BMBF Verbundprojektes "Metall Gate Elektroden und epitaktische Oxide als Gate-Stacks für zukünftige CMOS-Logik- und Speichergenerationen" - MEGA EPOS : Laufzeit: 01.03.2007 - 28.02.2010

Schlussbericht zum Teilprojekt "Grundlagenuntersuchungen der MBE-Prozesse: MBE-Wachstum, Struktur und thermische Stabilität von Verbindungen und Heterostrukturen Seltener-Erd-Oxide auf Si" innerhalb des BMBF Verbundprojektes "Metall Gate Elektroden und epitaktische Oxide als Gate-Stacks für zukünftige CMOS-Logik- und Speichergenerationen" - MEGA EPOS Laufzeit: 01.03.2007 - 28.02.2010

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Paul-Drude-Institut für Festkörperelektronik (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Berlin 2010
Schlagworte:
Forschungsbericht
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 13N9262. - Verbund-Nr. 01056351
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden. - Auch als elektronische Ressource vorh
Beschreibung:30 Bl.
Ill., graph. Darst.