EUV-Charakterisierung von EUV-Masken und Maskenblanks : Schlussbericht zum KMU-inovativ-Verbundprojekt ; Teilvorhaben: Entladungsbasierte Strahlquellen für Anwendungen zur EUV-Diagnostik mit hoher Strahlungsleistung

EUV-Charakterisierung von EUV-Masken und Maskenblanks Schlussbericht zum KMU-inovativ-Verbundprojekt ; Teilvorhaben: Entladungsbasierte Strahlquellen für Anwendungen zur EUV-Diagnostik mit hoher Strahlungsleistung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Benk, Markus (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Aachen Fraunhofer Inst. für Lasertechn., ILT 2010
Schlagworte:
Forschungsbericht
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 13N9567. - Verbund-Nr. 01061222
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Auch als elektronische Ressource vorh
Beschreibung:15 Bl.
Ill., graph. Darst.