The development of cluster tool controllers (CTC) for semiconductor manufacturing the case of KAIST and Jusung Engineering, Co.

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	International journal of technology marketing
1. Verfasser:	O, In gyu (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2010
Schlagworte:	Halbleiterindustrie > Technologietransfer > Forschungskooperation > Südkorea > Aufsatz in Zeitschrift
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Beschreibung
Beschreibung:	Ill., graph. Darst.
ISSN:	1741-878X