The development of cluster tool controllers (CTC) for semiconductor manufacturing the case of KAIST and Jusung Engineering, Co.
Gespeichert in:
Veröffentlicht in: | International journal of technology marketing |
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1. Verfasser: | |
Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
2010
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Beschreibung: | Ill., graph. Darst. |
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ISSN: | 1741-878X |