Beschichtung von flexiblen Substraten mit a-Silizium-pin-Solarzellen mittels einer VHF-PECVD-Durchlaufanlage Bearichtszeitraum: 01.10.2006 - 31.03.2010

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Technische Universität Dresden Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Bartha, Johann Wolfgang (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Dresden ca. 2010
Schlagworte:	Forschungsbericht
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