Beschichtung von flexiblen Substraten mit a-Silizium-pin-Solarzellen mittels einer VHF-PECVD-Durchlaufanlage Bearichtszeitraum: 01.10.2006 - 31.03.2010

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Technische Universität Dresden Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Bartha, Johann Wolfgang (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Dresden ca. 2010
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMU 0329563E
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden. - Auch als elektronische Ressource vorh
Beschreibung:90 S.
Ill., graph. Darst.