Mikro-System-Technik Chemnitz '10 Mikromechanik & Mikroelektronik ; 10. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik ; 20./21. Oktober 2010

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaften:	Technische Universität Chemnitz (BerichterstatterIn), Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Dittrich, Claus (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Chemnitz Techn. Univ. 2010
Schlagworte:	Microelectronics > Micromechanics > Konferenzschrift > Mikrosystemtechnik > Mikroelektronik
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