Nanoimprint lithography principles, processes and materials

Principle and fundamental process for NIL -- Variations of NIL processes -- NIL materials -- Prospects and challenges in NIL.

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Lan, Hongbo (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Ding, Yucheng (VerfasserIn), Liu, Hongzhong (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Hauppauge, NY Nova Science Publishers c 2011
Schriftenreihe:	Nanotechnology science and technology
Schlagworte:	Nanolithography > Nanoelectronics > Microlithography > Nanostructures > Bibliografie
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