Nanoimprint lithography : principles, processes and materials

Nanoimprint lithography principles, processes and materials

Principle and fundamental process for NIL -- Variations of NIL processes -- NIL materials -- Prospects and challenges in NIL.

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Lan, Hongbo (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Ding, Yucheng (VerfasserIn), Liu, Hongzhong (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Hauppauge, NY Nova Science Publishers c 2011
Schriftenreihe:Nanotechnology science and technology
Schlagworte:
Nanolithography > Nanoelectronics > Microlithography > Nanostructures > Bibliografie
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Beschreibung
Zusammenfassung:Principle and fundamental process for NIL -- Variations of NIL processes -- NIL materials -- Prospects and challenges in NIL.
Principle and fundamental process for NIL -- Variations of NIL processes -- NIL materials -- Prospects and challenges in NIL
Beschreibung:Includes bibliographical references (p. [61]-68) and index
Beschreibung:VIII, 73 S.
Ill.
23 cm
ISBN:9781611225013
978-1-61122-501-3
1611225019
1-61122-501-9