FLUX: Fluoridische Laserkomponenten für den UV-X Spektralbereich im Rahmen des Förderkonzeptes "Optische Technologie" des Bmb+f und der Bekanntmachung "Innovative Anwendungen extrem ultravioletter Strahlung (XUV)" ; Teilvorhaben der LAYERTEC GmbH: "Erhöhung der Lebensdauer von optischen Komponenten für den DUV/VUV-Bereich" ; Schlussbericht
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Sprache: | ger |
Veröffentlicht: |
Mellingen
Layertec
2010
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Beschreibung: | Förderkennzeichen BMBF 13N9238. - Verbund-Nr. 01042010 Auch als elektronische Ressource vorh Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden |
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Beschreibung: | 18 Bl. graph. Darst. |