Special issue: Microprocesses and nanotechnology [the 22nd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2009) was held in Sheraton Sapporo Hotel, Sapporo, Japan, November 16 - 19, 2009]

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	International Microprocesses and Nanotechnology Conference (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Meguro, Takashi (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Tokyo Japan Society of Applied Physics 2010
Schriftenreihe:	Japanese journal of applied physics 49.2010,6,2
Schlagworte:	Konferenzschrift > Nanotechnologie > Mikromechanik
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Beschreibung
Beschreibung:	Getr. Zählung [ca. 400 S.] Ill., graph. Darst.