Herstellung von SiOx-Barriereschichten aus Polysilazanen bei Normaldruck und niedriger Temperatur mittels VUV-Strahlung Schlussbericht
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| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Leipzig u.a.
2010
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | Förderkennzeichen BMBF 01RI06007 - 01RI06009. - Verbund-Nr. 01046726. - Engl. Berichtsbl. u.d.T.: Manufacture of silica barrier layers from polysilazanes at normal pressure and temperature by means of VUV irradiation. - Literaturverz. S. 95 - 99 Auch als elektronische Ressource vorh Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden |
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| Beschreibung: | 99 S. Ill., graph. Darst. |