Ein Konzept zur Modellierung und Simulation mikroelektromechanischer Systeme mit Anwendung auf ein elektrostatisches Kraftmikroskop

Hannover, Univ., Diss., 2009

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Greiff, Michael (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: 2010
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