Ein Konzept zur Modellierung und Simulation mikroelektromechanischer Systeme mit Anwendung auf ein elektrostatisches Kraftmikroskop

Hannover, Univ., Diss., 2009

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Greiff, Michael (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: 2010
Schlagworte:
Hochschulschrift > Rasterkraftmikroskop
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Beschreibung
Zusammenfassung:Hannover, Univ., Diss., 2009
MEMS, EFM, FEM
Beschreibung:Parallel als Online-Ausg. erschienen
Beschreibung:II, 129 Bl.
graph. Darst.