An analysis of the ceiling height requirement for a large-scale semiconductor fab

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	International journal of production research
1. Verfasser:	Wu, Muh-cherng (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Shih, Chang-fu (VerfasserIn), Chen, Chen-fu (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2010
Schlagworte:	Halbleiterindustrie > Fabrikplanung > Aufsatz in Zeitschrift
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Beschreibung
Beschreibung:	graph. Darst.
ISSN:	0020-7543