Scatterometry and ellipsometry on structured surfaces Beiträge des 245. PTB-Seminars am 18. und 19. März 2009
Gespeichert in:
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| Weitere Verfasser: | |
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | eng |
| Veröffentlicht: |
Bremerhaven
Wirtschaftsverl. NW, Verl. für neue Wissenschaft
2009
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| Schriftenreihe: | PTB-Bericht Optik
71 |
| Schlagworte: | |
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| Beschreibung: | 1 CD-ROM |
| ISBN: | 9783869180328 978-3-86918-032-8 |