Reinigung und Strukturierung empfindlicher Oberflächen mittels Excimerlaserstrahlung Entwicklung und Anwendung eines Applikationsgerätes

Zugl.: Hamburg, Helmut-Schmidt-Univ., Diss., 2008

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Steglich, Karl-Heinz (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Aachen Shaker 2010
Schriftenreihe:	Berichte aus der Lasertechnik
Schlagworte:	Hochschulschrift > Oberflächenreinigung > Strukturierung > Mikrobearbeitung > Laserablation > Excimerlaser > Geräteentwicklung
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Zugl.: Hamburg, Helmut-Schmidt-Univ., Diss., 2008
Beschreibung:	243 S. Ill., graph. Darst 21 cm, 392 gr.
ISBN:	9783832287825 978-3-8322-8782-5