Laser precision microfabrication

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser:	Sugioka, Koji (HerausgeberIn), Meunier, Michel (BerichterstatterIn), Piqué, Alberto (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Berlin, Heidelberg, Dordrecht u.a. Springer 2010
Schriftenreihe:	Springer series in materials science 135
Schlagworte:	Lasers > Industrial applications > Microfabrication > Manufacturing processes > Mikrofertigung > Laserbearbeitung
Online Zugang:	Autorenbiografie Verlagsangaben Inhaltstext Cover Einführung/Vorwort Inhaltsverzeichnis
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