International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2009 5 - 9 October 2009, Zvenigorod, Russian Federation

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Fiziko-Technologičeskij Institut (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Valiev, Kamil A. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Bellingham, Wash. SPIE 2010
Schriftenreihe:Proceedings of SPIE 7521
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Beschreibung
Beschreibung:Getr. Zählung [ca. 480 S.]
Ill., graph. Darst.
ISBN:9780819479112
978-0-8194-7911-2