Epitaktische AIN-Schichten auf Saphir und Diamant

Zugl.: München, Techn. Univ., Diss., 2009

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Hermann, Martin (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Garching Verein zur Förderung des Walter-Schottky-Inst. der Techn. Univ. München 2009
Ausgabe:	1. Aufl.
Schriftenreihe:	Selected topics of semiconductor physics and technology 112
Schlagworte:	Hochschulschrift > Forschungsbericht > Aluminiumnitrid > Silicium > Dotierung > Epitaxieschicht > Saphir > Diamant
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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