Gettering and defect engineering in semiconductor technology XIII GADEST 2009 ; proceedings of the 13th international autumn meeting, Döllnsee-Schorfheide, north of Berlin, Germany, September 26 - October 02, 2009
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Weitere Verfasser: | , |
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
Stafa-Zurich u.a.
Trans Tech Publ.
2010
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Schriftenreihe: | Diffusion and defect data / B
156/158 |
Schlagworte: | |
Online Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
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