Gettering and defect engineering in semiconductor technology XIII GADEST 2009 ; proceedings of the 13th international autumn meeting, Döllnsee-Schorfheide, north of Berlin, Germany, September 26 - October 02, 2009

Bibliographische Detailangaben

Weitere Verfasser:	Kittler, Martin (BerichterstatterIn), Richter, Hans (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Stafa-Zurich u.a. Trans Tech Publ. 2010
Schriftenreihe:	Diffusion and defect data / B 156/158
Schlagworte:	Konferenzschrift > Gitterbaufehler
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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