Radio frequency power in plasmas proceedings of the 18th topical conference, Gent, Belgium, 24 - 26 June 2009
Gespeichert in:
Körperschaft: | |
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Weitere Verfasser: | , |
Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
Melville, NY
American Inst. of Physics
2009
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Schriftenreihe: | AIP conference proceedings
1187 |
Schlagworte: | |
Online Zugang: | Inhaltsverzeichnis Abstracts |
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Beschreibung: | XVII, 678 S. Ill., graph. Darst |
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ISBN: | 9780735407534 978-0-7354-0753-4 |