Mikro-System-Technik Chemnitz '09 : Mikromechanik & Mikroelektronik ; 9. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik ; 5./6. November 2009

Mikro-System-Technik Chemnitz '09 Mikromechanik & Mikroelektronik ; 9. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik ; 5./6. November 2009

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: Technische Universität Chemnitz (BerichterstatterIn), Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Mehner, Jan (BerichterstatterIn), Dittrich, Claus (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Chemnitz Techn. Univ. 2009
Schlagworte:
Konferenzschrift > Mikrosystemtechnik > Mikroelektronik
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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