Mikro-System-Technik Chemnitz '09 Mikromechanik & Mikroelektronik ; 9. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik ; 5./6. November 2009

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaften:	Technische Universität Chemnitz (BerichterstatterIn), Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Mehner, Jan (BerichterstatterIn), Dittrich, Claus (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Chemnitz Techn. Univ. 2009
Schlagworte:	Konferenzschrift > Mikrosystemtechnik > Mikroelektronik
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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