Razrabotka i issledovanie ustanovki CVD-sinteza na osnove silʹnotočnogo tlejuščego razrjada

Bibliographische Detailangaben

Weitere Verfasser:	Klenov, V. S. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	rus
Veröffentlicht:	Moskva 2004
Schriftenreihe:	Preprint IJaI 1130
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